測試精度:0.01 um
多次測量重復(fù)性誤差<0.1%
元素分析范圍從鋁(Al)到鈾(U)
測量時間:10-60秒
Si-PIN探測器,能量分辨率為149電子伏特
微焦X射線管50KV/1mA,鎢靶,
焦斑尺寸 75um, 壽命大于3萬小時
7個準(zhǔn)直器及6個濾光片自動切換
XYZ三維移動平臺,大荷載為5公斤
高清CCD攝像頭,精確監(jiān)控位置
多變量非線性去卷積曲線擬合
高性能FP/MLSQ分析
平臺尺寸 700x580x25 mm
平臺移動范圍 300(X)x300(Y)x25 (Z)mm